Fortschritte in der Atomlagenabscheidung (ALD) und Atomlagenätzung (ALE)
Advances in Atomic Layer Deposition and Etching
Lehrveranstaltung 0000000752 im WS 2021/2
Basisdaten
| LV-Art | Proseminar |
|---|---|
| Umfang | 2 SWS |
| betreuende Organisation | Experimentelle Halbleiterphysik |
| Dozent(inn)en |
Ian Sharp Mitwirkende: Alexander Henning |
| Termine |
Di, 14:00–16:00, WSI S402 |
Zuordnung zu Modulen
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PH1539: Fortschritte in der Atomlagenabscheidung (ALD) und Atomlagenätzung (ALE) für Bachelorstudierende / Advances in Atomic Layer Deposition and Etching for B.Sc. Students
Dieses Modul ist in den folgenden Katalogen enthalten:- Proseminarkatalog für den Bachelorstudiengang Physik
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PH1540: Fortschritte in der Atomlagenabscheidung (ALD) und Atomlagenätzung (ALE) für Masterstudierende / Advances in Atomic Layer Deposition and Etching for M.Sc. Students
Dieses Modul ist in den folgenden Katalogen enthalten:- Proseminarkatalog für den Masterstudiengang Physik der kondensierten Materie
- Proseminarkatalog für den Masterstudiengang Applied and Engineering Physics
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
| ergänzende Hinweise | |
|---|---|
| Links |
E-Learning-Kurs (z. B. Moodle) TUMonline-Eintrag TUMonline-Anmeldeverfahren |
Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)
| Semester | Titel | Dozent(en) | Termine |
|---|---|---|---|
| WS 2022/3 | Advances in Atomic Layer Deposition and Etching | Sharp, I. | Termine in Gruppen |
| SS 2022 | Advances in Atomic Layer Deposition and Etching |
Sharp, I.
Mitwirkende: Henning, A. |
Di, 14:00–16:00, WSI S402 |