Colloquium on Current Problems of Clean Room Technology and Processing
Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung
Course 0000001348 in WS 2016/7
General Data
| Course Type | colloquium |
|---|---|
| Semester Weekly Hours | 3 SWS |
| Organisational Unit | Topology of Correlated Systems |
| Lecturers |
Marc Wilde Responsible/Coordination: Christian Pfleiderer |
| Dates |
Fri, 09:30–11:45, PH 2024 |
Further Information
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| additional remarks | In dem Kolloquium werden physikalische und technische Aspekte der Reinraumprozessierung von mikro- und nanostrukturierten Festkörpersystemen an ausgewählten Beispielen vorgestellt und diskutiert. Im Rahmen des Kolloquiums werden auf der Basis neuester Erkennisse die speziellen Verhaltensmaßnahmen in staubfreien und temperaturstablisierten Reinräumen, die sicherheitstechnischen Aspekte sowie der sichere Probentransfer zwischen Reinräumen und Beschichtungsanlagen vermittelt. Das vermittelte Wissen wird inhaltlich an verschiedenen Kolloquiumsterminen abgefragt und überprüft. |
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| Links | TUMonline entry |