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Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung
Colloquium on Current Problems of Clean Room Technology and Processing

Lehrveranstaltung 0000001348 im WS 2013/4

Basisdaten

LV-Art Kolloquium
Umfang 3 SWS
betreuende Organisation TUPHE10
Dozent(inn)en Marc Wilde
Leitung/Koordination: Dirk Grundler
Termine

Zuordnung zu Modulen

Diese Lehrveranstaltung ist keinem Modul zugeordnet.

weitere Informationen

Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).

ergänzende Hinweise In dem Kolloquium werden physikalische und technische Aspekte der Reinraumprozessierung von mikro- und nanostrukturierten Festkörpersystemen an ausgewählten Beispielen vorgestellt und diskutiert. Im Rahmen des Kolloquiums werden auf der Basis neuester Erkennisse die speziellen Verhaltensmaßnahmen in staubfreien und temperaturstablisierten Reinräumen, die sicherheitstechnischen Aspekte sowie der sichere Probentransfer zwischen Reinräumen und Beschichtungsanlagen vermittelt. Das vermittelte Wissen wird inhaltlich an verschiedenen Kolloquiumsterminen abgefragt und überprüft.
Links TUMonline-Eintrag

Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)

SemesterTitelDozent(en)Termine
SS 2018 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Pfleiderer, C.
Mitwirkende: Wilde, M.
Mi, 16:00–18:15, PH 2224
WS 2017/8 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Mo, 14:15–16:30, PH 2224
SS 2017 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Fr, 09:30–11:45, 5101.EG.024
WS 2016/7 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Fr, 09:30–11:45, 5101.EG.024
SS 2016 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Fr, 09:30–11:45, 5101.EG.024
WS 2015/6 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Fr, 09:30–11:45, 5101.EG.024
SS 2015 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Wilde, M.
Leitung/Koordination: Pfleiderer, C.
Fr, 09:30–11:45, 5101.EG.024
WS 2014/5 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
SS 2014 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
SS 2013 Kolloquium zu Aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
WS 2012/3 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
SS 2012 Kolloquium zu Halbleiterprozesstechnik und Mikromechanik Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
WS 2011/2 Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung Wilde, M.
Leitung/Koordination: Grundler, D.
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