Colloquium on Current Problems of Clean Room Technology and Processing
Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung

Course 0000001348 in WS 2016/7

General Data

Course Type Colloquium
Semester Weekly Hours 3 SWS
Organisational Unit Physics of Functional Layers
Lecturers Marc Wilde
Responsible/Coordination: Florian Klappenberger
Dates Friday, 09:30–11:45

Assignment to Modules

This course is not assigned to any module.

Further Information

Courses are together with exams the building blocks for modules. Please keep in mind that information on the contents, learning outcomes and, especially examination conditions are given on the module level only – see section "Assignment to Modules" above.

additional remarks In dem Kolloquium werden physikalische und technische Aspekte der Reinraumprozessierung von mikro- und nanostrukturierten Festkörpersystemen an ausgewählten Beispielen vorgestellt und diskutiert. Im Rahmen des Kolloquiums werden auf der Basis neuester Erkennisse die speziellen Verhaltensmaßnahmen in staubfreien und temperaturstablisierten Reinräumen, die sicherheitstechnischen Aspekte sowie der sichere Probentransfer zwischen Reinräumen und Beschichtungsanlagen vermittelt. Das vermittelte Wissen wird inhaltlich an verschiedenen Kolloquiumsterminen abgefragt und überprüft.
Links TUMonline entry

Condensed Matter

When atoms interact things can get interesting. Fundamental research on the underlying properties of materials and nanostructures and exploration of the potential they provide for applications.

Nuclei, Particles, Astrophysics

A journey of discovery to understanding our world at the subatomic scale, from the nuclei inside atoms down to the most elementary building blocks of matter. Are you ready for the adventure?


Biological systems, from proteins to living cells and organisms, obey physical principles. Our research groups in biophysics shape one of Germany's largest scientific clusters in this area.