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Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung
Colloquium on Current Problems of Clean Room Technology and Processing

Lehrveranstaltung 0000001348 im WS 2016/7

Basisdaten

LV-Art Kolloquium
Umfang 3 SWS
betreuende Organisation Topologie korrelierter Systeme
Dozent(inn)en Marc Wilde
Leitung/Koordination: Christian Pfleiderer
Termine Fr, 09:30–11:45, PH 2024

Zuordnung zu Modulen

Diese Lehrveranstaltung ist keinem Modul zugeordnet.

weitere Informationen

Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).

ergänzende Hinweise In dem Kolloquium werden physikalische und technische Aspekte der Reinraumprozessierung von mikro- und nanostrukturierten Festkörpersystemen an ausgewählten Beispielen vorgestellt und diskutiert. Im Rahmen des Kolloquiums werden auf der Basis neuester Erkennisse die speziellen Verhaltensmaßnahmen in staubfreien und temperaturstablisierten Reinräumen, die sicherheitstechnischen Aspekte sowie der sichere Probentransfer zwischen Reinräumen und Beschichtungsanlagen vermittelt. Das vermittelte Wissen wird inhaltlich an verschiedenen Kolloquiumsterminen abgefragt und überprüft.
Links TUMonline-Eintrag

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