Colloquium on Current Problems of Clean Room Technology and Processing
Kolloquium zu aktuellen Fragen der Reinraumtechnik und Prozessierung

Course 0000001348 in WS 2015/6

General Data

Course Type Colloquium
Semester Weekly Hours 3 SWS
Organisational Unit Physics of Functional Layers
Lecturers Marc Wilde
Responsible/Coordination: Christian Pfleiderer
Dates Friday, 09:30–11:45

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additional remarks In dem Kolloquium werden physikalische und technische Aspekte der Reinraumprozessierung von mikro- und nanostrukturierten Festkörpersystemen an ausgewählten Beispielen vorgestellt und diskutiert. Im Rahmen des Kolloquiums werden auf der Basis neuester Erkennisse die speziellen Verhaltensmaßnahmen in staubfreien und temperaturstablisierten Reinräumen, die sicherheitstechnischen Aspekte sowie der sichere Probentransfer zwischen Reinräumen und Beschichtungsanlagen vermittelt. Das vermittelte Wissen wird inhaltlich an verschiedenen Kolloquiumsterminen abgefragt und überprüft.
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