Technologie und Messtechnik für CMOS-Bauelemente
Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente
Lehrveranstaltung 0000002536 im WS 2023/4
Basisdaten
| LV-Art | Praktikum |
|---|---|
| Umfang | 5 SWS |
| betreuende Organisation | Professur für Molekularelektronik (Prof. Tornow) |
| Dozent(inn)en |
Sabrina Artmeier Demetrios-Domenikos Chryssikos Harsh Gupta Christian Pfeiffer Hector Jonathan Rojas Rojas Benedikt Schoof Moritz Singer Leitung/Koordination: Marc Tornow |
| Termine |
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
| ergänzende Hinweise | In dem Praktikum werden bereits fertig prozessierte 200 mm-Siliziumwafer, auf denen sich MOSFETs oder JFETs in verschiedenen Ausführungen, sowie Kondensatoren, Dioden und weitere Teststrukturen befinden, an einer Probe Station vermessen. Die so gewonnenen Daten werden ausgewertet und die Abweichungen über den Wafer hinweg auf deren Ursachen hin untersucht. |
|---|---|
| Links |
E-Learning-Kurs (z. B. Moodle) TUMonline-Eintrag |