Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente
Technologie und Messtechnik für CMOS-Bauelemente
Course 0000002536 in WS 2022/3
General Data
| Course Type | practical training |
|---|---|
| Semester Weekly Hours | 5 SWS |
| Organisational Unit | Associate Professorship of Molekularelektronik (Prof. Tornow) |
| Lecturers |
Demetrios-Domenikos Chryssikos Responsible/Coordination: Marc Tornow Assistants: Sabrina Artmeier Harsh Gupta Hector Jonathan Rojas Rojas Benedikt Schoof Moritz Singer |
| Dates |
Further Information
Courses are together with exams the building blocks for modules. Please keep in mind that information on the contents, learning outcomes and, especially examination conditions are given on the module level only – see section "Assignment to Modules" above.
| additional remarks | Der zweiwöchige Block-Kurs wird an der Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT in München durchgeführt. Zunächst wird das Wissen der Teilnehmer/-innen über industrienahe CMOS-Fertigungstechniken von Halbleiterbauelementen, wie MOSFETs, JFETs. Dioden, Kondensatoren etc. weiter vertieft. Anschließend werden bereits fertig prozessierte 200 mm-Siliziumwafer, auf denen sich z. B. MOSFETs oder JFETs in verschiedenen Ausführungen, sowie Kondensatoren, Dioden und weitere Teststrukturen befinden, an einem halbautomatischem Waferprober elektrisch vermessen. Die so gewonnenen Daten werden ausgewertet und die Abweichungen über den Wafer hinweg auf deren Ursachen hin untersucht. |
|---|---|
| Links |
E-Learning course (e. g. Moodle) TUMonline entry |