Technologie und Messtechnik für CMOS-Bauelemente
Technologie und Messtechnik für CMOS Bauelemente
Lehrveranstaltung 0000004070 im SS 2021
Basisdaten
| LV-Art | Praktikum |
|---|---|
| Umfang | 5 SWS |
| betreuende Organisation | Professur für Molekularelektronik (Prof. Tornow) |
| Dozent(inn)en |
Daniel Reiser Leitung/Koordination: Marc Tornow Mitwirkende: Sabrina Artmeier Demetrios-Domenikos Chryssikos Julian Matthias Dlugosch Regina Hutschenreiter Hector Jonathan Rojas Rojas |
| Termine |
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
| ergänzende Hinweise | Der zweiwöchige Block-Kurs wird an der Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT in München durchgeführt. Zunächst wird das Wissen der Teilnehmer/-innen über industrienahe CMOS-Fertigungstechniken von Halbleiterbauelementen, wie MOSFETs, JFETs. Dioden, Kondensatoren etc. weiter vertieft. Anschließend werden bereits fertig prozessierte 200 mm-Siliziumwafer, auf denen sich z. B. MOSFETs oder JFETs in verschiedenen Ausführungen, sowie Kondensatoren, Dioden und weitere Teststrukturen befinden, an einem halbautomatischem Waferprober elektrisch vermessen. Die so gewonnenen Daten werden ausgewertet und die Abweichungen über den Wafer hinweg auf deren Ursachen hin untersucht. |
|---|---|
| Links |
E-Learning-Kurs (z. B. Moodle) TUMonline-Eintrag |