Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung
Plasma processes in micro system technologies Tutorial
Lehrveranstaltung 0000000904 im SS 2015
Basisdaten
LV-Art | Übung |
---|---|
Umfang | 1 SWS |
betreuende Organisation | Professur für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.) |
Dozent(inn)en | |
Termine |
Mi, 15:00–16:30, N1414 |
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
ergänzende Hinweise | |
---|---|
Links |
E-Learning-Kurs (z. B. Moodle) TUMonline-Eintrag |
Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)
Semester | Titel | Dozent(en) | Termine |
---|---|---|---|
SS 2014 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung |
Mo, 15:00–16:30, N1414 |
|
SS 2013 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung |