Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung
Plasma processes in micro system technologies Tutorial
Lehrveranstaltung 0000000904 im SS 2014
Basisdaten
| LV-Art | Übung |
|---|---|
| Umfang | 1 SWS |
| betreuende Organisation | Professur für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.) |
| Dozent(inn)en | |
| Termine |
Mo, 15:00–16:30, N1414 |
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
| ergänzende Hinweise | |
|---|---|
| Links |
E-Learning-Kurs (z. B. Moodle) TUMonline-Eintrag |
Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)
| Semester | Titel | Dozent(en) | Termine |
|---|---|---|---|
| SS 2015 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung |
Mi, 15:00–16:30, N1414 |
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| SS 2013 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung |