Plasma processes in micro system technologies
Module EI7151
This module handbook serves to describe contents, learning outcome, methods and examination type as well as linking to current dates for courses and module examination in the respective sections.
Basic Information
EI7151 is a semester module in German language at Master’s level which is offered in summer semester.
This module description is valid from SS 2010 to WS 2013/4.
| Total workload | Contact hours | Credits (ECTS) |
|---|---|---|
| 90 h | 45 h | 3 CP |
Content, Learning Outcome and Preconditions
Content
Grundlagen der Plasmatechnik, Ionisierungsvorgänge, Plasmaparameter, Messung von Plasmakennwerten, Reaktoranordnungen, Vakuumtechnik, Vakuummesstechnik, Niederdruckgasentladungen, plasmaunterstützte Ätzverfahren, plasmaünterstützte Beschichtungsverfahren, Betriebsparameter, Entwicklungsrichtungen
Learning Outcome
Studierende erhalten vertiefte Kenntnisse in Bezug auf Plasmatechnologien in der Mikrotechnik
Sie erwerben die Kompetenzen, die es ihnen gestatten, Plasmaprozesse bezüglich ihrer Wirkung auf die Bauelementefertigung abzuschätzen
Sie erwerben die Kompetenzen, die es ihnen gestatten, Plasmaprozesse bezüglich ihrer Wirkung auf die Bauelementefertigung abzuschätzen
Preconditions
Mikrostrukturierungsverfahren; Dünnschichttechnologien, Entladungsvorgänge, Durchschlagsverhalten von Gasen, Lichtbögen
Folgende Module sollten vor der Teilnahme bereits erfolgreich absolviert sein:
Hochspannungstechnik
Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
-
Folgende Module sollten vor der Teilnahme bereits erfolgreich absolviert sein:
Hochspannungstechnik
Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
-
Courses, Learning and Teaching Methods and Literature
Courses and Schedule
| Type | SWS | Title | Lecturer(s) | Dates | Links |
|---|---|---|---|---|---|
| VO | 2 | Plasma processes in micro system technologies |
Wed, 13:15–14:45, N1414 |
eLearning |
|
| UE | 1 | Plasma processes in micro system technologies Tutorial |
Wed, 15:00–16:30, N1414 |
eLearning |
Learning and Teaching Methods
Als Lernmethode wird zusätzlich zu den individuellen Methoden des Studierenden eine vertiefende Wissensbildung durch klärende Diskussionen und Aufgabenrechnen in den Übungen angestrebt.
Vorlesungen und Übungen werden im klassischen Frontalunterricht gehalten, in den Übungen erfolgt eine partielle inhaltliche Vertiefung sowie das Rechnen von relevanten Aufgaben.
Vorlesungen und Übungen werden im klassischen Frontalunterricht gehalten, in den Übungen erfolgt eine partielle inhaltliche Vertiefung sowie das Rechnen von relevanten Aufgaben.
Media
Folgende Medienformen finden Verwendung:
- Präsentationen
- Lehrbuch Mikrosystemtechnik
- Übungsaufgaben mit Lösungen auch als Download im Internet
- Präsentationen
- Lehrbuch Mikrosystemtechnik
- Übungsaufgaben mit Lösungen auch als Download im Internet
Literature
Folgende Literatur wird empfohlen:
Schwesinger/Dehne/Adler: Lehrbuch MST; 2009 Schade u.a. Plasmatechnik, Verl. Technik 1990
Schwesinger/Dehne/Adler: Lehrbuch MST; 2009 Schade u.a. Plasmatechnik, Verl. Technik 1990