Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik
Plasma processes in micro system technologies

Modul EI7151

Dieses Modul wird durch Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik bereitgestellt.

Diese Modulbeschreibung enthält neben den eigentlichen Beschreibungen der Inhalte, Lernergebnisse, Lehr- und Lernmethoden und Prüfungsformen auch Verweise auf die aktuellen Lehrveranstaltungen und Termine für die Modulprüfung in den jeweiligen Abschnitten.

Basisdaten

EI7151 ist ein Semestermodul in Deutsch auf Master-Niveau das im Sommersemester angeboten wird.

Die Gültigkeit des Moduls ist von SS 2010 bis WS 2013/4.

GesamtaufwandPräsenzveranstaltungenUmfang (ECTS)
90 h 45 h 3 CP

Inhalte, Lernergebnisse und Voraussetzungen

Inhalt

Grundlagen der Plasmatechnik, Ionisierungsvorgänge, Plasmaparameter, Messung von Plasmakennwerten, Reaktoranordnungen, Vakuumtechnik, Vakuummesstechnik, Niederdruckgasentladungen, plasmaunterstützte Ätzverfahren, plasmaünterstützte Beschichtungsverfahren, Betriebsparameter, Entwicklungsrichtungen

Lernergebnisse

Studierende erhalten vertiefte Kenntnisse in Bezug auf Plasmatechnologien in der Mikrotechnik Sie erwerben die Kompetenzen, die es ihnen gestatten, Plasmaprozesse bezüglich ihrer Wirkung auf die Bauelementefertigung abzuschätzen

Voraussetzungen

Mikrostrukturierungsverfahren; Dünnschichttechnologien, Entladungsvorgänge, Durchschlagsverhalten von Gasen, Lichtbögen Folgende Module sollten vor der Teilnahme bereits erfolgreich absolviert sein: Hochspannungstechnik Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen: -

Lehrveranstaltungen, Lern- und Lehrmethoden und Literaturhinweise

Lehrveranstaltungen und Termine

ArtSWSTitelDozent(en)Termine
VO 2 Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Mittwoch, 13:15–14:45
UE 1 Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung Mittwoch, 15:00–16:30

Lern- und Lehrmethoden

Als Lernmethode wird zusätzlich zu den individuellen Methoden des Studierenden eine vertiefende Wissensbildung durch klärende Diskussionen und Aufgabenrechnen in den Übungen angestrebt. Vorlesungen und Übungen werden im klassischen Frontalunterricht gehalten, in den Übungen erfolgt eine partielle inhaltliche Vertiefung sowie das Rechnen von relevanten Aufgaben.

Medienformen

Folgende Medienformen finden Verwendung: - Präsentationen - Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Übungsaufgaben mit Lösungen auch als Download im Internet

Literatur

Folgende Literatur wird empfohlen: Schwesinger/Dehne/Adler: Lehrbuch MST; 2009 Schade u.a. Plasmatechnik, Verl. Technik 1990

Modulprüfung

Beschreibung der Prüfungs- und Studienleistungen

Modulprüfung mit folgenden Bestandteilen: Abschlussklausur

Kondensierte Materie

Wenn Atome sich zusammen tun, wird es interessant: Grundlagenforschung an Festkörperelementen, Nanostrukturen und neuen Materialien mit überraschenden Eigenschaften treffen auf innovative Anwendungen.

Kern-, Teilchen-, Astrophysik

Ziel der Forschung ist das Verständnis unserer Welt auf subatomarem Niveau, von den Atomkernen im Zentrum der Atome bis hin zu den elementarsten Bausteinen unserer Welt.

Biophysik

Biologische Systeme, vom Protein bis hin zu lebenden Zellen und deren Verbänden, gehorchen physikalischen Prinzipien. Unser Forschungsbereich Biophysik ist deutschlandweit einer der größten Zusammenschlüsse in diesem Bereich.