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Plasma processes in micro system technologies

Module EI7151

This Module is offered by TUM Department of Electrical and Computer Engineering.

This module handbook serves to describe contents, learning outcome, methods and examination type as well as linking to current dates for courses and module examination in the respective sections.

Basic Information

EI7151 is a semester module in German language at Master’s level which is offered in summer semester.

This module description is valid from SS 2010 to WS 2013/4.

Total workloadContact hoursCredits (ECTS)
90 h 45 h 3 CP

Content, Learning Outcome and Preconditions

Content

Grundlagen der Plasmatechnik, Ionisierungsvorgänge, Plasmaparameter, Messung von Plasmakennwerten, Reaktoranordnungen, Vakuumtechnik, Vakuummesstechnik, Niederdruckgasentladungen, plasmaunterstützte Ätzverfahren, plasmaünterstützte Beschichtungsverfahren, Betriebsparameter, Entwicklungsrichtungen

Learning Outcome

Studierende erhalten vertiefte Kenntnisse in Bezug auf Plasmatechnologien in der Mikrotechnik

Sie erwerben die Kompetenzen, die es ihnen gestatten, Plasmaprozesse bezüglich ihrer Wirkung auf die Bauelementefertigung abzuschätzen

Preconditions

Mikrostrukturierungsverfahren; Dünnschichttechnologien, Entladungsvorgänge, Durchschlagsverhalten von Gasen, Lichtbögen

Folgende Module sollten vor der Teilnahme bereits erfolgreich absolviert sein:
Hochspannungstechnik
Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
-

Courses, Learning and Teaching Methods and Literature

Courses and Schedule

TypeSWSTitleLecturer(s)Dates
VO 2 Plasma processes in micro system technologies Wed, 13:15–14:45, N1414
UE 1 Plasma processes in micro system technologies Tutorial Wed, 15:00–16:30, N1414

Learning and Teaching Methods

Als Lernmethode wird zusätzlich zu den individuellen Methoden des Studierenden eine vertiefende Wissensbildung durch klärende Diskussionen und Aufgabenrechnen in den Übungen angestrebt.

Vorlesungen und Übungen werden im klassischen Frontalunterricht gehalten, in den Übungen erfolgt eine partielle inhaltliche Vertiefung sowie das Rechnen von relevanten Aufgaben.

Media

Folgende Medienformen finden Verwendung:
- Präsentationen
- Lehrbuch Mikrosystemtechnik
- Übungsaufgaben mit Lösungen auch als Download im Internet

Literature

Folgende Literatur wird empfohlen:
Schwesinger/Dehne/Adler: Lehrbuch MST; 2009 Schade u.a. Plasmatechnik, Verl. Technik 1990

Module Exam

Description of exams and course work

Modulprüfung mit folgenden Bestandteilen: Abschlussklausur
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