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Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung
Plasma processes in micro system technologies Tutorial

Lehrveranstaltung 0000000904 im SS 2013

Basisdaten

LV-Art Übung
Umfang 1 SWS
betreuende Organisation Professur für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.)
Dozent(inn)en
Termine

weitere Informationen

Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).

ergänzende Hinweise
Links TUMonline-Eintrag

Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)

SemesterTitelDozent(en)Termine
SS 2015 Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung Mi, 15:00–16:30, N1414
SS 2014 Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik Übung Mo, 15:00–16:30, N1414
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