Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik
Plasma processes in micro system technologies
Lehrveranstaltung 0000000903 im SS 2013
Basisdaten
LV-Art | Vorlesung |
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Umfang | 2 SWS |
betreuende Organisation | Professur für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.) |
Dozent(inn)en | |
Termine |
weitere Informationen
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ergänzende Hinweise | |
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Links | TUMonline-Eintrag |
Gleiche Lehrveranstaltungen (z. B. in anderen Semestern)
Semester | Titel | Dozent(en) | Termine |
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SS 2015 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik |
Mi, 13:15–14:45, N1414 |
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SS 2014 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik |
Mi, 13:15–14:45, N1414 |