Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik
Plasma processes in micro system technologies
Lehrveranstaltung 0000000903 im SS 2014
Basisdaten
| LV-Art | Vorlesung |
|---|---|
| Umfang | 2 SWS |
| betreuende Organisation | Professur für Mikrostrukturierte mechatronische Systeme (N.N.) |
| Dozent(inn)en | |
| Termine |
Mi, 13:15–14:45, N1414 |
weitere Informationen
Lehrveranstaltungen sind neben Prüfungen Bausteine von Modulen. Beachten Sie daher, dass Sie Informationen zu den Lehrinhalten und insbesondere zu Prüfungs- und Studienleistungen in der Regel nur auf Modulebene erhalten können (siehe Abschnitt "Zuordnung zu Modulen" oben).
| ergänzende Hinweise | Grundlagen der Plasmatechnik, Ionisierungsvorgänge, Plasmaparameter, Messung von Plasmakennwerten, Reaktoranordnungen, Vakuumtechnik, Vakuummesstechnik, Niederdruckgasentladungen, plasmaunterstützte Ätzverfahren, plasmaünterstützte Beschichtungsverfahren, Betriebsparameter, Entwicklungsrichtungen |
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| Links |
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| Semester | Titel | Dozent(en) | Termine |
|---|---|---|---|
| SS 2015 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik |
Mi, 13:15–14:45, N1414 |
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| SS 2013 | Plasmaverfahren in der Mikrosystemtechnik |