Nanoanalytik (Charakterisierung von Halbleiter-Nanostrukturen)
Nanoanalytics (Characterization of Semiconductor Nanostructures)

Modul PH2153

Diese Modulbeschreibung enthält neben den eigentlichen Beschreibungen der Inhalte, Lernergebnisse, Lehr- und Lernmethoden und Prüfungsformen auch Verweise auf die aktuellen Lehrveranstaltungen und Termine für die Modulprüfung in den jeweiligen Abschnitten.

Basisdaten

PH2153 ist ein Semestermodul in Englisch oder Deutsch auf Master-Niveau das im Sommersemester angeboten wird.

Das Modul ist Bestandteil der folgenden Kataloge in den Studienangeboten der Physik.

  • Allgemeiner Spezialfachkatalog Physik
  • Spezifischer Spezialfachkatalog Physik der kondensierten Materie

Soweit nicht beim Export in einen fachfremden Studiengang ein anderer studentischer Arbeitsaufwand ("Workload") festgelegt wurde, ist der Umfang der folgenden Tabelle zu entnehmen.

GesamtaufwandPräsenzveranstaltungenUmfang (ECTS)
150 h 40 h 5 CP

Inhaltlich verantwortlich für das Modul PH2153 ist Gregor Koblmüller.

Inhalte, Lernergebnisse und Voraussetzungen

Inhalt

This module gives an introductory in nanoanalytics. The general scheme of scanning probe microscopy will be introduced. In particular, the physics of electron microscopy methods, such as scanning electron electron microscopy, transmission electron microscopy, high-resolution electron microscopy, and scanning tunneling electron microscopy, are discussed. Furthermore, focused ion microscopy and lithography techniques are explained. A further emphasis is put on methods for surface analysis. These comprise Auger electron spectroscopy, x-ray photoelectron spectroscopy, and secondary ion mass spectrometry. In addition, x-ray reflectrometry and diffraction will be introduction.

Lernergebnisse

After a successful participation of the module, the student is able to:
1) differentiate and name the physics of scanning probe microscopy methods.
3) explain focused ion micrometry and lithograpy.
4) discuss and explain techniques for the surface analysis.
5) explain and specify the x-ray reflectrometry and diffraction.

Voraussetzungen

There are no access requirements beyond the ones for the master study.

Lehrveranstaltungen, Lern- und Lehrmethoden und Literaturhinweise

Lehrveranstaltungen und Termine

ArtSWSTitelDozent(en)Termine
VO 2 Nanoanalytik – Charakterisierung von Halbleiter Nanostrukturen Koblmüller, G. einzelne oder verschobene Termine

Lern- und Lehrmethoden

Lecture, beamer presentation, board work, exercises in individual and group work, discussion

Medienformen

Lecture script, practise sheets, accompanying internet site, complementary literature

Literatur

Czichos, Horst; Saito, Tetsuya; Smith, Leslie (Editors): “Springer Handbook of Materials Measurement Methods”, (2006).

Modulprüfung

Beschreibung der Prüfungs- und Studienleistungen

In einer mündlichen Prüfung wird das Erreichen der Lernergebnisse durch Verständnisfragen und Beispielaufgaben bewertet.

Die Prüfung kann in Übereinstimmung mit §12 (8) APSO auch schriftlich abgehalten werden, in diesem Fall ist der Richtwert für die Prüfungsdauer 60 Minuten.

Wiederholbarkeit

Eine Wiederholungsmöglichkeit wird am Semesterende angeboten.

Kondensierte Materie

Wenn Atome sich zusammen tun, wird es interessant: Grundlagenforschung an Festkörperelementen, Nanostrukturen und neuen Materialien mit überraschenden Eigenschaften treffen auf innovative Anwendungen.

Kern-, Teilchen-, Astrophysik

Ziel der Forschung ist das Verständnis unserer Welt auf subatomarem Niveau, von den Atomkernen im Zentrum der Atome bis hin zu den elementarsten Bausteinen unserer Welt.

Biophysik

Biologische Systeme, vom Protein bis hin zu lebenden Zellen und deren Verbänden, gehorchen physikalischen Prinzipien. Unser Forschungsbereich Biophysik ist deutschlandweit einer der größten Zusammenschlüsse in diesem Bereich.