Einführung in die Nanofabrikation und Nanoanalytik
Introduction to Nanofabrication and Nanoanalytics
Modul PH2135
Diese Modulbeschreibung enthält neben den eigentlichen Beschreibungen der Inhalte, Lernergebnisse, Lehr- und Lernmethoden und Prüfungsformen auch Verweise auf die aktuellen Lehrveranstaltungen und Termine für die Modulprüfung in den jeweiligen Abschnitten.
Basisdaten
PH2135 ist ein Semestermodul in Englisch auf Master-Niveau das im Wintersemester angeboten wird.
Das Modul ist Bestandteil der folgenden Kataloge in den Studienangeboten der Physik.
- Allgemeiner Spezialfachkatalog Physik
- Spezifischer Spezialfachkatalog Applied and Engineering Physics
- Spezifischer Spezialfachkatalog Physik der kondensierten Materie
Soweit nicht beim Export in einen fachfremden Studiengang ein anderer studentischer Arbeitsaufwand ("Workload") festgelegt wurde, ist der Umfang der folgenden Tabelle zu entnehmen.
| Gesamtaufwand | Präsenzveranstaltungen | Umfang (ECTS) |
|---|---|---|
| 150 h | 40 h | 5 CP |
Inhaltlich verantwortlich für das Modul PH2135 ist Gregor Koblmüller.
Inhalte, Lernergebnisse und Voraussetzungen
Inhalt
The module focuses on various methods of nanofabrication (optical, electron beam lithography, focused ion beam) and newer emerging techniques (x-ray lithography, nanoimprint, etc.). In particular the physical principles are discussed and limitations for each method given. Various synthesis and crystal growth methods for advanced semiconductor nanostructures will be further introduced such as chemical and physical vapor phase epitaxial techniques (MOVPE, MBE, etc.) and the growth of 0D,1D, and 2D materials highlighted. The second part of this module deals with specific nanoanalytical methods required for characterization of structural, surface and atomic properties of nanofabricated and synthesized materials. These include electron microscopy, surface analytical methods, ion beam analytical techniques, x-ray techniques, and some new sophisticated techniques.
Lernergebnisse
The goal of the module is to provide the basic material science and applied physics background for the various nanofabrication and nanoanalytical methods offered in our institute.
Voraussetzungen
Lehrveranstaltungen, Lern- und Lehrmethoden und Literaturhinweise
Lehrveranstaltungen und Termine
| Art | SWS | Titel | Dozent(en) | Termine |
|---|---|---|---|---|
| VO | 2 | Introduction to Nanofabrication and Nanoanalytics | Koblmüller, G. |
einzelne oder verschobene Termine |
Lern- und Lehrmethoden
Medienformen
Literatur
- Nanofabrication (Principles, Capabilities and Limits), Zheng Cui, Springer 2008
- Epitaxy of Nanostructures, V.A. Shchukin, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, Springer 2003
- Particle Beam Microanalysis (Fundamentals, Methods, and Applications), E. Fuchs, H. Oppolzer, H. Rehme, VCH 1990
- Handbook of Instrumentation and Techniques for Semiconductor Nanostructure Characterization, R. Haight, F. M. Ross, J. B. Hannon, World Scientific 2012
Modulprüfung
Beschreibung der Prüfungs- und Studienleistungen
In einer mündlichen Prüfung wird das Erreichen der Lernergebnisse durch Verständnisfragen und Beispielaufgaben bewertet.
Die Prüfung kann in Übereinstimmung mit §12 (8) APSO auch schriftlich abgehalten werden, in diesem Fall ist der Richtwert für die Prüfungsdauer 60 Minuten.
Wiederholbarkeit
Eine Wiederholungsmöglichkeit wird am Semesterende angeboten.