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Technology of III/V Semiconductor Devices

Module EI7129

This Module is offered by TUM Department of Electrical and Computer Engineering.

This module handbook serves to describe contents, learning outcome, methods and examination type as well as linking to current dates for courses and module examination in the respective sections.

Basic Information

EI7129 is a semester module in German language at Master’s level which is offered in winter semester.

This module description is valid to SS 2013.

Total workloadContact hoursCredits (ECTS)
90 h 30 h 3 CP

Content, Learning Outcome and Preconditions

Content

TEIL I: Materialien - Herstellung, Charakterisierung und Bearbeitung: Grundlegende Eigenschaften von Halbleitern und Anforderungen von optoelektronischen Bauelementen; Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern (Epitaxieverfahren; LPE, MOVPE, MBE); Charakterisierung von Halbleiterkristallen (Röntgenbeugung, Photolumineszenz, Hall-Effekt); Bearbeitung von Halbleitern (Lithografie, Ätztechniken, Kontaktierung) -- TEIL II: Bauelemente: Feldeffekttransistoren (Funktionsweise, Herstellung, Optimierung für High-Speed-Anwendungen); Heterobipolartransistoren (Funktionsweise, Herstellung, Optimierung); Leuchtdioden; Laserdioden (Funktionsweise, Herstellung, Realisierungsformen verschiedener Konzepte)

Learning Outcome

Durch die Teilnahme an den Modulveranstaltungen erhalten die Studierenden vertiefte Kenntnis der technologischen und physikalischen Grundlagen der Technologie von III-V-Verbindungshalbleitern und deren optoelektronischer und elektronischer Bauelemente.

Preconditions

Grundkenntnisse über elektronische und optoelektronische Bauelemente

Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
- Optoelektronik
- Nanophotonics

Courses, Learning and Teaching Methods and Literature

Courses and Schedule

Learning and Teaching Methods

Als Lehrmethode wird Frontalunterricht gehalten.

Media

Folgende Medienformen finden Verwendung:
- Präsentationen
- Skript
- Übungsaufgaben mit Lösungen als Download im Internet

Literature

Folgende Literatur wird empfohlen:
- S.M. Sze, "High-Speed Semiconductor Devices", John Wiley & Sons, Inc.
- J. Singh, "Semiconductor Devices", McGraw-Hill, Inc.

Module Exam

Description of exams and course work

Abschlußexamen
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