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Technologie der III-V-Halbleiterbauelemente
Technology of III/V Semiconductor Devices

Modul EI7129

Dieses Modul wird durch Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik bereitgestellt.

Diese Modulbeschreibung enthält neben den eigentlichen Beschreibungen der Inhalte, Lernergebnisse, Lehr- und Lernmethoden und Prüfungsformen auch Verweise auf die aktuellen Lehrveranstaltungen und Termine für die Modulprüfung in den jeweiligen Abschnitten.

Basisdaten

EI7129 ist ein Semestermodul in Deutsch auf Master-Niveau das im Wintersemester angeboten wird.

Die Gültigkeit des Moduls ist bis SS 2013.

GesamtaufwandPräsenzveranstaltungenUmfang (ECTS)
90 h 30 h 3 CP

Inhalte, Lernergebnisse und Voraussetzungen

Inhalt

TEIL I: Materialien - Herstellung, Charakterisierung und Bearbeitung: Grundlegende Eigenschaften von Halbleitern und Anforderungen von optoelektronischen Bauelementen; Herstellung von III-V-Verbindungshalbleitern (Epitaxieverfahren; LPE, MOVPE, MBE); Charakterisierung von Halbleiterkristallen (Röntgenbeugung, Photolumineszenz, Hall-Effekt); Bearbeitung von Halbleitern (Lithografie, Ätztechniken, Kontaktierung) -- TEIL II: Bauelemente: Feldeffekttransistoren (Funktionsweise, Herstellung, Optimierung für High-Speed-Anwendungen); Heterobipolartransistoren (Funktionsweise, Herstellung, Optimierung); Leuchtdioden; Laserdioden (Funktionsweise, Herstellung, Realisierungsformen verschiedener Konzepte)

Lernergebnisse

Durch die Teilnahme an den Modulveranstaltungen erhalten die Studierenden vertiefte Kenntnis der technologischen und physikalischen Grundlagen der Technologie von III-V-Verbindungshalbleitern und deren optoelektronischer und elektronischer Bauelemente.

Voraussetzungen

Grundkenntnisse über elektronische und optoelektronische Bauelemente

Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
- Optoelektronik
- Nanophotonics

Lehrveranstaltungen, Lern- und Lehrmethoden und Literaturhinweise

Lehrveranstaltungen und Termine

Lern- und Lehrmethoden

Als Lehrmethode wird Frontalunterricht gehalten.

Medienformen

Folgende Medienformen finden Verwendung:
- Präsentationen
- Skript
- Übungsaufgaben mit Lösungen als Download im Internet

Literatur

Folgende Literatur wird empfohlen:
- S.M. Sze, "High-Speed Semiconductor Devices", John Wiley & Sons, Inc.
- J. Singh, "Semiconductor Devices", McGraw-Hill, Inc.

Modulprüfung

Beschreibung der Prüfungs- und Studienleistungen

Abschlußexamen
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