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Semiconductor Sensors

Module EI0439

This Module is offered by TUM Department of Electrical and Computer Engineering.

This module handbook serves to describe contents, learning outcome, methods and examination type as well as linking to current dates for courses and module examination in the respective sections.

Basic Information

EI0439 is a semester module in German language at Bachelor’s level which is offered in summer semester.

This module description is valid to WS 2013/4.

Total workloadContact hoursCredits (ECTS)
90 h 45 h 3 CP

Content, Learning Outcome and Preconditions

Content

Materialgrundlagen; Technologie: Silizium, Sonderprozesse für Sensoren, Aufbau- und Verbindungstechnik; Kraftsensoren für Druck, Beschleunigung, : Elastizitätstheorie, piezoresistive, piezoelektrische und kapazitive Sensoren; Kontakttemperatursensoren: Thermodioden und Thermotransistoren; Strahlungssensoren: Bolometer, Quantensensoren (CCDs), Teilchendetektoren; Magnetfeldsensoren: Hall-Sensoren, Feldplatten, AMR-Sensoren; Feuchtesensoren; Chemosensoren: ChemFETs, Pellistoren; Biosensoren: Enzym-Sensoren, DNS-Sensoren, Immuno-Sensoren, Biomedizinische Sensoren, Sensorimplantate; Smart-Sensors, Sensorsysteme;

Learning Outcome

Nach der Teilnahme an den Modulveranstaltungen hat der Studierende folgende Kenntnisse:

Eigenschaften und Anwendungen von Mikrosensoren
Parameterdesign von Halbleitersensoren aufgrund physikalischer, chemischer oder biologischer Grundlagen
Vergleich mit Datenblättern, Auswertung von Datenblättern
technische und ökonomische Vorteile und Eigenschaften von Kombinationen aus Mikrosensoren mit integrierter Elektronik

Preconditions

Physikalische, chemische und elektronische Eigenschaften von Materialien; Aufbau und Funktion von mikroelektronischen Standardbauelementen; Prozesse der Halbleitertechnologie; CMOS Technologie

Folgende Module sollten vor der Teilnahme bereits erfolgreich absolviert sein:
- Werkstoffe der Elektrotechnik
- Elektronische Bauelemente

Es wird empfohlen, ergänzend an folgenden Modulen teilzunehmen:
-

Courses, Learning and Teaching Methods and Literature

Learning and Teaching Methods

Als Lernmethode wird zusätzlich zu den individuellen Methoden des Studierenden eine vertiefende Wissensbildung durch mehrmaliges Aufgabenrechnen in Übungen und Tutorübungen angestrebt.

Als Lehrmethode wird in der Vorlesungen Frontalunterricht, in den Übungen Arbeitsunterricht (Aufgaben rechnen) gehalten.

Media

Folgende Medienformen finden Verwendung:
- Präsentationen
- Skript
- Übungsaufgaben mit Lösungen als Download im Internet

Literature

Folgende Literatur wird empfohlen:
- W.Heywang; Sensorik, Springer Verlag, 1993
- J. Gardner: Microsensors, Wiley, 1994

Module Exam

Description of exams and course work

Modulprüfung mit folgenden Bestandteilen: - Abschlussklausur

Exam Repetition

There is a possibility to take the exam in the following semester.

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